灵活的探测，4步工作流程，gao级的分析性能

将分析性能与场发射扫描技术相结合，利用成熟的 Gemini 电子光学元件。多种探测器可选：用于颗粒、表面或者纳米结构成像。Sigma 半自动的4步工作流程节省大量的时间：设置成像与分析步骤，提高效率。

Sigma 300 性价比高。Sigma 500 装配有背散射几何探测器，可快速方便地实现基础分析。任何时间，任何样品均可获得精准可重复的分析结果。

灵活的检测器选项，获取清晰图像

使用新颖的ETSE和Inlens探测器在高真空下获取高分辨率表面形貌信息。

使用VPSE或C2D检测器在可变压力模式下获得清晰图像。

使用aSTEM检测器生成高分辨率透射图像。

使用HDBSD或YAG检测器分析成分。

用户友好,操作简单

SmartSEM Touch是现已有操作系统的附加组件，用于多用户环境，是一种简洁的用户界面。
它同时为操作经验丰富的专家用户和初级用户提供了简便的操作。
基于实际的实验室环境，SEM的操作可能是电子显微镜专家的专属领域。
但是，非专业用户（例如学生，接受培训不久的人员或质量工程师）也需要使用SEM获取数据，因此也有使用SEM的需求。 Sigma 300和Sigma300 VP将非专业用户的需求考虑在内，其用户界面选项可满足操作经验丰富的显微镜专家和显微镜新手用户的操作需求。

特点：

用于清晰成像的灵活探测

• 利用先进探测术为您的需求定制 Sigma，表征所有样品。

• 利用 in-lens 双探测器获取形貌和成份信息。

• 利用新一代的二次探测器，获取高达50%的信号图像。在可变压力模式下利用 Sigma 创新的 C2D 和 可变压力探测器，在低真空环境下获取高达85%对比度的锐利的图像。

自动化加速工作流程

• 4步工作流程让您控制 Sigma 的所有功能。在多用户环境中，从快速成像和节省培训首先，先对样品进行导航，然后设置成像条件。

• 首先，先对样品进行导航，然后设置成像条件。

• 接下来对样品感兴趣的区域进行优化并自动采集图像。zui后使用工作流程的zui后一步，将结果可视化。

分析型显微镜

• 将扫描电子显微镜与基本分析相结合：Sigma 的背散射几何探测器大大提升了分析性能，特别是对电子束敏感的样品。

• 在一半的检测束流和两倍的速度条件下获取分析数据。

• 获益于8.5 mm 短的分析工作距离和35°夹角，获取完整且无阴影的分析结果。

Gemini光学元件

基于成熟的 Gemini 技术

• Gemini 镜头的设计结合考虑了电场与磁场对光学性能的影响，并将场对样品的影响降至更低。这使得即使对磁性样品成像也能获得出色的效果。

• Gemini in-lens 的探测确保了信号探测的效率，通过二次检测(SE)和背散射(BSE)元件同时减少成像时间。

• Gemini 电子束加速器技术确保了小的探测器尺寸和高的信噪比。

用于清晰成像的灵活探测

• 利用新的探测技术表征所有的样品。

• 在高真空模式下利用创新的 ETSE 和in-lens 探测器获取形貌和高分辨率的信息。

• 在可变压力模式下利用可变压力二次电子和 C2D 探测器获取锐利的图像。

• 利用 aSTEM 探测器生成高分率透射图像。

• 利用 BSD4 或者 YAG 探测器进行成份分析。

配件：

SmartEDX

为您带来一体化能谱分析解决方案

如果单采用SEM成像技术无法全面了解部件或样品，研究人员就需要在SEM中采用能谱仪（EDS）来进行显微分析。通过针对低电压应用而优化的能谱解决方案，您可以获得元素化学成分的空间分布信息。得益于：

• 优化了常规的显微分析应用，并且由于氮化硅窗口的透过率，可以探测轻元素的低能X射线。

• 工作流程引导的图形用户界面极大地改善了易用性，以及多用户环境中的重复性。

• 完整的服务和系统支持，由蔡司工程师为您的安装、预防性维护及保修提供一站式服务。

拉曼成像与扫描电镜联用系统

完全集成化的拉曼成像

在您的数据中加入拉曼光谱及成像结果，获得材料更丰富的表征信息。通过扩展蔡司Sigma300，使其具备共聚焦拉曼成像功能，您能够获得样品中的化学指纹信息，从而指认其成分。

• 识别分子和晶体结构信息

• 可进行3D分析，在需要时可关联SEM图像、拉曼面扫描成像和EDS数据。

• 完全集成RISE让您体验由先进的SEM和拉曼系统带来的优势。

可视化及分析软件

蔡司Atlas 5-挑战多尺度分析

Atlas 5可以简化您的工作：以样本为中心的关联环境下为您创建多尺度、多模式的综合图片。Atlas 5集强大的硬件和易于操作的软件为一体，大大拓展了蔡司扫描电镜（SEM）的应用范围。

可视化及分析软件

蔡司推荐您使用Object Research Systems (ORS) 的 Dragonfly Pro

此解决方案可为X射线，FIB-SEM，SEM以及氦离子显微镜获取的三维数据进行可视化三维重构和分析。

基于Visual SI Advanced系列, Dragonfly Pro 能提供高清解析度可视化技术和优异的图形处理技术。DragonflyPro支持通过简单易用的Python脚本进行定制。用户可以完全掌控3D数据后期处理环境和流程